EJA硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

日期：2025-08-25 16:21

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摘要：

硅膜片諧振式差壓變送器工作原理簡介

位于高壓端和低壓端的金屬膜片受到過程壓力，通過密封液分別傳送到單晶硅片的上下兩面。在單晶硅片中，有2個振子腔體，2個振子的固有頻率之差就是差壓信號。

真空腔體中的振子是經過精細加工的(H型諧振梁的長約700μm，寬約25μm，厚約5μm)。由于振子H型諧振梁的4端與單晶硅連接，所以當單晶硅變形時，振子振動頻率與壓力差成正比例，固有振動頻率發生變化。

通過永磁體給振子一個磁場，振子的半片和剩余的半片構成一個勵磁電路，測量出該電路的固有頻率，將該固有頻率與另一個振子的固有頻率之差轉換成差壓信號。將差壓信號轉換成4-20mA、脈沖或數字信號輸出。

單晶硅諧振式差壓變送器原理

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